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工科系奈微米生醫流體實驗室
工科系奈微米生醫流體實驗室
黃光製程實驗室

 黃光微影實驗室 Clean Room

 

ADMINISTRATOR

李俊葦   NE102/35809   waynelee19850217@hotmail.com

SUPERUSER

 
魏瑜萱    NE603/35831   u96187040@gmail.com                               訓練考核 

 

 

黃光室簡介
位置:原子科學館B棟(工科新館)七樓NE704(無塵室)與NE706(空調機房)
分機:03-5715131 #35827
服務:黃光微影製程(HMDS塗佈、光阻塗佈、曝光、顯影,4吋以下晶圓)、光學顯微檢測(可拍照、最高100X物鏡、附量測刻度尺)、金屬/氧化膜之化學溼蝕刻、爐管前化學清潔、陽極接合
使用資格:必須參加實驗室安全講習並通過考核,由管理者安排三次黃光訓練並通過考核,方可獲得使用資格。雙面曝光對準機需另行訓練考核。校內領有薪資之研究人員,須做過健康檢查,並通過校內一般性及有害物安衛教育訓練考核。黃光使用者,有參與本實驗室每週大組打掃的義務,須遵照通知於指定輪值月內每週出席。
*詳細內容請參閱 1.黃光室簡介20110122
 
使用收費標準:
1.        每月每人收費10000元,可自由使用本黃光室提供的一切耗材(含光阻,不含晶圓),不另行收費,唯不可攜出他用。自開始訓練起前三個月為訓練期,每月收費為5000元。此使用款項將以發票拆帳的方式,定期向使用者之實驗室報銷。
2.        通過訓練考核後,申請門禁卡片必須由申請人自行繳交1000元押金,若違反本實驗室規定將進行扣款(每累計三點,扣除100元;當剩餘額度不足扣款,將直接向使用者罰款),剩餘金額將於使用者畢業離校時退還。
 
黃光室懲處與舉發辦法
1.      禁止事項與懲處扣點,參閱 2.黃光室懲處條例20100616
2.      違反規定,將依據懲處條例予以扣點。每累計3點,扣除門禁卡押金100元;情節嚴重者,得合併停權懲處並報請指導教授處理。
3.      凡合格使用者,若發現違規事項,皆可填寫 3.黃光違規舉發與意見表進行舉發(擺放位置見下圖)。填寫各欄後,交於陳怡全或黃光管理者進行查核。
 
 
黃光室訓練考核申請流程
==實驗室安全講習==
1. 報名實驗室安全講習(http://fangang.web.nthu.edu.tw/files/14-1198-76607,r2163-1.php?Lang=zh-tw下載 黃光訓練報名資料表,填寫各欄資料並寄送waynelee19850217@hotmail.com
4. 參與2小時之實驗室安全講習,並通過測驗。(統一寄發講習時間)
5. 下載  7.使用申請資料暨承諾切結單印出使用承諾切結書請指導教授簽名。
 
==黃光訓練==
6. 等待訓練與考核人員安排通知。一旦收到email通知,請主動聯絡負責之訓練人員,預約訓練時間。
7. 下載   8.黃光訓練考核項目20100615  2.黃光室懲處條例20100616仔細閱讀相關規定
8. 印出 9.黃光室訓練考核申請表,填寫資料並請指導教授簽名。
9. 進行三次黃光室操作訓練,並通過考核。每次訓練與考核,請攜帶黃光室訓練考核申請表予訓練考核人員簽名。
10. 填寫 7.使用申請資料暨承諾切結單之各欄資料並印出,同時以電子檔抄送  essmemslab@gmail.com
12. 攜帶 使用申請資料暨承諾切結單黃光室訓練考核申請表2吋照片一張,送交NE703申請門禁開卡,製卡約需一週。
13. 攜帶押金 1000,向陳怡全領取門禁卡。請記得測試是否可成功刷入。
 
*註:若已擁有門禁卡,不填寫使用申請資料暨承諾切結單,請改填寫 10.加開門禁申請表。其他步驟相同。
 
黃光室代工申請流程
2. 印出申請單, 詳細填寫各欄
3. 聯絡李俊葦確認代工細節,初步估價
4. 送交申請單與試片
5. 每件代工申請,交期一週
6. 代工完成,領回試片與待付發票
 
訓練/操作手冊

 

 

雙面對準曝光機

Double side alignment

單面對準曝光機

Single side alignment

 

光阻塗佈機

Spincoater

操作台

hood

 

顯微鏡

microscope

熱墊板

hot plate